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Development of a classical force field for the oxidized Si surface: Application to hydrophilic wafer bonding
氧化硅表面经典力场的发展:在亲水晶片键合中的应用
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期刊: 作者:Daniel H. Cole; Mike C. Payne; Gábor Csányi; S.M. Spearing; Lucio Colombi Ciacchi 出版日期:2007-11-28 |
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