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DC performance improvement of nanochannel AlGaN/AlN/GaN HEMTs with reduced OFF-state leakage current by post-gate annealing modulation
栅后退火调制降低关态漏电流改善纳米通道AlGaN/AlN/GaN HEMTs直流性能
相关领域
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期刊:Semiconductor Science and Technology 作者:Soumen Mazumder; Zhan-Gao Wu; Po Cheng Pan; Ssu-Hsien Li; Yeong-Her Wang 出版日期:2021-07-26 |
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