Atomic layer deposition of calcium fluoride for barrier coating applications

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标题	Atomic layer deposition of calcium fluoride for barrier coating applications 阻隔涂层用氟化钙的原子层沉积相关领域原子层沉积氟椭圆偏振法薄膜材料科学分析化学（期刊）纳米晶材料折射率氟化物无水的涂层硅化学工程化学无机化学纳米技术光电子学冶金有机化学工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002563
DOI	10.1116/6.0002563 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：John Hennessy; Robin E. Rodríguez; William C. West; Erik J. Brandon 出版日期：2023-06-27
求助人	雷老板在 2024-01-23 14:19:48 发布自上海，悬赏 10 积分
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