Optimized piranha etching process for SU8-based MEMS and MOEMS construction

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标题	Optimized piranha etching process for SU8-based MEMS and MOEMS construction SU8基MEMS和MOEMS结构的piranha蚀刻工艺优化相关领域微电子机械系统蚀刻（微加工）材料科学制作折射率表面光洁度过程（计算）芯（光纤）聚合物表面粗糙度纳米技术光电子学复合材料计算机科学医学替代医学病理图层（电子）操作系统
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/20/11/115008
DOI	10.1088/0960-1317/20/11/115008 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Matthew R. Holmes; Jared Keeley; Katherine Hurd; Holger Schmidt; Aaron R. Hawkins 出版日期：2010-10-08
求助人	jungle 在 2024-10-25 01:26:00 发布自江苏，悬赏 10 积分
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