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Polymer-Free and Dry Patterning of Wafer-Scale Two-Dimensional Semiconductors via van der Waals Delamination
通过范德华分层实现晶圆级二维半导体的无聚合物干图案化
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期刊:Nano Letters 作者:Shuimei Ding; Yun Liu; Quanyang Tao; Yang Chen; Weiqi Gao; et al 出版日期:2025 |
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