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 Line-edge-roughness transfer during plasma etching: modeling approaches and comparison with experimental results 等离子体刻蚀过程中的线-边缘-粗糙度转移：建模方法及与实验结果的比较
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期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者：Vassilios Constantoudis 出版日期：2009-10-01 |
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