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 A novel design of compact tilt stage with spatially distributed anti-symmetric compliant mechanism 一种新型空间分布反对称柔顺机构的紧凑式倾斜工作台设计
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期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Zhaoyu Yang; Yushu Shi; Peng Yan 出版日期：2022-11-16 |
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