标题 |
A Piezoelectric Stick-Slip Nanopositioning Stage With Ultra-High Load Capacity Realizing by Decoupling the Driving and Moving Units
驱动和运动单元解耦实现的超高负载能力压电粘滑纳米定位台
相关领域
解耦(概率)
压电
打滑(空气动力学)
计算机科学
算法
物理
工程类
声学
控制工程
热力学
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期刊:IEEE Access 作者:Yang Yu; Qiang Gao; Xiaosong Zhang; Guangda Qiao; Yi Han; et al 出版日期:2019-10-02 |
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