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标题
A Piezoelectric Stick-Slip Nanopositioning Stage With Ultra-High Load Capacity Realizing by Decoupling the Driving and Moving Units
驱动和运动单元解耦实现的超高负载能力压电粘滑纳米定位台
相关领域
解耦(概率) 压电 打滑(空气动力学) 计算机科学 算法 物理 工程类 声学 控制工程 热力学
网址
DOI
10.1109/access.2019.2944840 doi
其它 期刊:IEEE Access
作者:Yang Yu; Qiang Gao; Xiaosong Zhang; Guangda Qiao; Yi Han; et al
出版日期:2019-10-02
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