Study on subsurface damage and surface quality of silicon carbide ceramic induced by a novel non-resonant vibration-assisted roll-type polishing

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标题	Study on subsurface damage and surface quality of silicon carbide ceramic induced by a novel non-resonant vibration-assisted roll-type polishing 一种新型非共振振动辅助辊式抛光对碳化硅陶瓷亚表面损伤及表面质量的研究相关领域抛光材料科学陶瓷碳化硅振动表面粗糙度研磨复合材料表面光洁度碳化物变形（气象学）光学机械工程声学工程类物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2020.116667
DOI	10.1016/j.jmatprotec.2020.116667 doi
其它	期刊：Journal of Materials Processing Technology 作者：Xiuyuan Chen; Yan Gu; Jieqiong Lin; Allen Y. Yi; Mingshuo Kang; et al 出版日期：2020-02-24
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