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Surface and thin film characterization using angle resolved light scattering: from roughness and defect analysis to in-situ coating inspection
使用角分辨光散射的表面和薄膜表征:从粗糙度和缺陷分析到原位涂层检测
相关领域
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材料科学
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期刊: 作者:Anne-Sophie Munser; Tobias Herffurth; Christian Mühlig; Thomas Gischkat; Sven L. M. Schroeder 出版日期:2024-06-17 |
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