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标题
Dielectric breakdown behavior of ferroelectric HfO2 capacitors by constant voltage stress studied by in situ laser-based photoemission electron microscopy
基于原位激光的光电发射电子显微镜研究恒压应力下铁电HfO2电容器的介电击穿行为
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电容器 铁电性 材料科学 电介质 薄膜电容器 介电强度 光电子学 激光器 电极 随时间变化的栅氧化层击穿 压力(语言学) 分析化学(期刊) 栅极电介质 光学 化学 电气工程 电压 语言学 物理 哲学 物理化学 晶体管 色谱法 冶金 工程类
网址
DOI
10.35848/1347-4065/ad1e84 doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Yuki Itoya; Hirokazu Fujiwara; Cédric Bareille; Shik Shin; Toshiyuki Taniuchi; Masaharu Kobayashi
出版日期:2024-01-16
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