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Dielectric breakdown behavior of ferroelectric HfO2 capacitors by constant voltage stress studied by in situ laser-based photoemission electron microscopy
基于原位激光的光电发射电子显微镜研究恒压应力下铁电HfO2电容器的介电击穿行为
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Yuki Itoya; Hirokazu Fujiwara; Cédric Bareille; Shik Shin; Toshiyuki Taniuchi; Masaharu Kobayashi 出版日期:2024-01-16 |
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