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 Finite element simulation for sensitivity measurement of a shear horizontal surface acoustic wave micro pressure sensor with a groove structure 沟槽结构剪切型水平声表面波微压力传感器灵敏度测量的有限元模拟
相关领域
沟槽（工程）
材料科学
声学
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小型化
灵敏度（控制系统）
声表面波
压力传感器
声表面波传感器
剪应力
传感器
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期刊：Measurement Science and Technology 作者：Yuanyuan Li; Jianjun Yang; Bei Jiang; Le Cao; Xiangyi Shen; et al 出版日期：2020-07-27 |
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