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标题
Enhanced performance of In-Al-Sn-O films and thin film transistors achieved via regulating the RF magnetron sputtering power
通过调节射频磁控溅射功率提高In-Al-Sn-O薄膜和薄膜晶体管的性能
相关领域
溅射沉积 材料科学 光电子学 射频功率放大器 薄膜 溅射 腔磁控管 晶体管 无线电频率 薄膜晶体管 功率（物理） 电气工程 纳米技术 电压 物理 图层（电子） 工程类 CMOS芯片 放大器 量子力学
网址
https://doi.org/10.1016/j.materresbull.2025.113334
DOI
10.1016/j.materresbull.2025.113334 doi
其它 期刊：Materials Research Bulletin
作者：Xiao Feng; Yu Zhang; Lin Han; Xianjin Feng
出版日期：2025-01-01
求助人
zhengke924 在 2025-02-07 09:36:08 发布自广东，悬赏 10 积分
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