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标题
Gas-phase surface functionalization of SiNx with benzaldehyde to increase SiO2 to SiNx etch selectivity in atomic layer etching
苯甲醛气相表面官能化SiNx以提高原子层刻蚀中SiO2对SiNx的刻蚀选择性
相关领域
苯甲醛 表面改性 选择性 蚀刻（微加工） 图层（电子） 分析化学（期刊） 材料科学 红外光谱学 傅里叶变换红外光谱 化学 化学工程 纳米技术 有机化学 物理化学 催化作用 工程类
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001046
DOI
10.1116/6.0001046 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Ryan J. Gasvoda; Zhonghao Zhang; Eric A. Hudson; Sumit Agarwal
出版日期：2021-05-11
求助人
鲤鱼绿旋 在 2024-10-31 18:29:02 发布自福建，悬赏 10 积分
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