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Gas-phase surface functionalization of SiNx with benzaldehyde to increase SiO2 to SiNx etch selectivity in atomic layer etching
苯甲醛气相表面官能化SiNx以提高原子层刻蚀中SiO2对SiNx的刻蚀选择性
相关领域
苯甲醛
表面改性
选择性
蚀刻(微加工)
图层(电子)
分析化学(期刊)
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Ryan J. Gasvoda; Zhonghao Zhang; Eric A. Hudson; Sumit Agarwal 出版日期:2021-05-11 |
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