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 Gas-phase surface functionalization of SiNx with benzaldehyde to increase SiO2 to SiNx etch selectivity in atomic layer etching 苯甲醛气相表面官能化SiNx以提高原子层刻蚀中SiO2对SiNx的刻蚀选择性
相关领域
苯甲醛
表面改性
选择性
蚀刻（微加工）
图层（电子）
分析化学（期刊）
材料科学
红外光谱学
傅里叶变换红外光谱
化学
化学工程
纳米技术
有机化学
物理化学
催化作用
工程类
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Ryan J. Gasvoda; Zhonghao Zhang; Eric A. Hudson; Sumit Agarwal 出版日期：2021-05-11 |
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