A review on actuation and sensing techniques for MEMS-based microgrippers - 科研通

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标题	A review on actuation and sensing techniques for MEMS-based microgrippers 基于MEMS的微夹持器驱动与传感技术综述相关领域小型化微电子机械系统执行机构电容感应灵活性（工程）压阻效应精密工程机械工程材料科学电气工程计算机科学电子工程纳米技术工程类数学统计
网址	http://link.springer.com/article/10.1007/s12213-017-0098-2/f...
DOI	10.1007/s12213-017-0098-2 doi
其它	期刊：Journal of Micro-Bio Robotics 作者：Sijie Yang; Qingsong Xu 出版日期：2017-05-30
求助人	nothing 在 2024-11-08 15:26:41 发布自广东，悬赏 10 积分
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