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 Activation of Al2O3 surface passivation of silicon: Separating bulk and surface effects 硅表面钝化Al2o3的活化：分离体和表面效应
相关领域
钝化
硅
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期刊：Applied Surface Science 作者：N.E. Grant; S.L. Pain; E. Khorani; R. Jefferies; A. Wratten; et al 出版日期：2023-11-04 |
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