标题 |
Lithography hotspot detection through multi-scale feature fusion utilizing feature pyramid network and dense block
基于特征金字塔网络和密集块的多尺度特征融合光刻热点检测
相关领域
可制造性设计
热点(地质)
平版印刷术
计算机科学
人工智能
模式识别(心理学)
卷积神经网络
棱锥(几何)
深度学习
工程类
材料科学
物理
光电子学
光学
地质学
机械工程
地球物理学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Journal of micro-nanopatterning, materials, and metrology 作者:Haiwen Xu; Yuan Yuan; Ruijun Ma; Qi Pan; Fengmin Tang; et al 出版日期:2024-02-10 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|