标题 |
Two-Stage Transfer Learning for Fault Prognosis of Ion Mill Etching Process
离子磨刻蚀过程故障预测的两阶段迁移学习
相关领域
断层(地质)
过程(计算)
计算机科学
故障检测与隔离
学习迁移
深度学习
数据建模
人工智能
数据挖掘
卷积神经网络
机器学习
实时计算
工程类
可靠性工程
数据库
执行机构
地质学
操作系统
地震学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:IEEE transactions on semiconductor manufacturing 作者:Chongdang Liu; Linxuan Zhang; Jinyi Li; Jinghao Zheng; Cheng Wu 出版日期:2021-05-01 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|