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标题
Poly-CMP Slurry for Flash Memories
用于闪存的多化学机械抛光浆
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化学机械平面化 材料科学 薄脆饼 泥浆 浅沟隔离 平面度测试 沟槽 图层(电子) 二氧化硅 平面的 光电子学 纳米技术 化学工程 复合材料 化学 结晶学 计算机图形学(图像) 计算机科学 工程类
网址
DOI
10.1149/1.3096501 doi
其它 期刊:ECS Transactions
作者:Jianfe Jing; Bryan K. Chiu; Travis Huang; Arthur Hsu; Chunxiao Yang; et al
出版日期:2009-03-06
求助人
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