Selective epitaxy and lateral overgrowth of 3C-SiC on Si

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标题	Selective epitaxy and lateral overgrowth of 3C-SiC on Si – A review Si-A上3C-SiC的选择性生长和横向过生长相关领域外延材料科学碳化硅光电子学碳化物微电子机械系统氮化物硅纳米技术工程物理复合材料图层（电子）工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.pcrysgrow.2005.10.003
DOI	10.1016/j.pcrysgrow.2005.10.003 doi
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