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 MEMS Thermocouple Sensor Based on 4H-Silicon-Carbide-On-Insulator (4H-SiCOI) 基于4H-SiCOI的MEMS热电偶传感器
相关领域
热电偶
碳化硅
材料科学
微电子机械系统
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温度测量
宽禁带半导体
硅
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