标题 |
Theoretical study on the effect of H2 and NH3 on trimethylgallium decomposition process in GaN MOVPE
H2和NH3对GaN MOVPE中三甲基镓分解过程影响的理论研究
相关领域
三甲基镓
分解
金属有机气相外延
化学
外延
物理化学
化学分解过程
活化能
计算化学
有机化学
图层(电子)
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DOI | |
其它 |
期刊:Japanese journal of applied physics 作者:Soma Sakakibara; Kenta Chokawa; Masaaki Araidai; Akira Kusaba; Yoshihiro Kangawa; et al 出版日期:2021-04-01 |
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