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标题
Theoretical study on the effect of H2 and NH3 on trimethylgallium decomposition process in GaN MOVPE
H2和NH3对GaN MOVPE中三甲基镓分解过程影响的理论研究
相关领域
三甲基镓 分解 金属有机气相外延 化学 外延 物理化学 化学分解过程 活化能 计算化学 有机化学 图层(电子)
网址
DOI
10.35848/1347-4065/abf089 doi
其它 期刊:Japanese journal of applied physics
作者:Soma Sakakibara; Kenta Chokawa; Masaaki Araidai; Akira Kusaba; Yoshihiro Kangawa; et al
出版日期:2021-04-01
求助人
jellorio 在 2024-06-07 14:24:59 发布自福建,悬赏 10 积分
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