标题 |
Effects of cryogenic cooling on the quality factor of lamb wave mode aluminium nitride piezoelectric-on-silicon MEMS resonators
低温冷却对lamb波模式硅基氮化铝压电MEMS谐振器品质因数的影响
相关领域
谐振器
材料科学
氮化硅
微电子机械系统
Q系数
铝
大气温度范围
氮化物
光电子学
氮化铝
硅
压电
物理
复合材料
热力学
图层(电子)
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其它 |
期刊:Sensors and Actuators A Physical 作者:Cheng Tu; Joshua E.-Y. Lee 出版日期:2016-06-01 |
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