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标题
Growth and characterization of Si-doped Ga2O3 thin films by remote plasma atomic layer deposition: Toward UVC-LED application
远程等离子体原子层沉积法生长和表征掺硅Ga2O3薄膜:UVC-LED应用
相关领域
材料科学 薄膜 X射线光电子能谱 三甲基镓 分析化学(期刊) 兴奋剂 椭圆偏振法 退火(玻璃) 碳膜 电阻率和电导率 图层(电子) 纳米技术 金属有机气相外延 光电子学 化学工程 外延 化学 复合材料 电气工程 工程类 色谱法
网址
DOI
10.1016/j.surfcoat.2022.128252 doi
其它 期刊:Surface & Coatings Technology
作者:Xiaoying Zhang; Yue Yang; Wei‐Hang Fan; Chen Wang; Wan-Yu Wu; et al
出版日期:2022-04-01
求助人
Ice 在 2025-03-14 09:03:12 发布自福建,悬赏 10 积分
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