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 Similarity laws of low pressure inductively coupled discharges based on PIC/MCC simulations 基于PIC/MCC模拟的低压电感耦合放电相似律
相关领域
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电子密度
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电子
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：H. J. Wen; Julian Schulze; Yangyang Fu; Jing‐Yu Sun; Quan‐Zhi Zhang 出版日期：2025-02-27 |
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