发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
求助中
  • 文献求助详情
标题
MEMS Aluminum Nitride Technology for Inertial Sensors
惯性传感器用MEMS氮化铝技术
相关领域
微电子机械系统 谐振器 制作 陀螺仪 加速度计 压电 材料科学 氮化铝 有限元法 氮化物 梁（结构） 电子工程 机械工程 工程类 光电子学 电气工程 计算机科学 铝 纳米技术 航空航天工程 结构工程 图层（电子） 医学 替代医学 病理 冶金 操作系统
网址
https://escholarship.org/content/qt5kd3w2mc/qt5kd3w2mc.pdf
AI链接 escholarship.org
DOI
暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它 期刊：
作者：Gabriele Vigevani
出版日期：2011-01-01
求助人
快乐大炮 在 2024-12-03 15:28:55 发布自中国，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Material selection for MEMS devices
  2. Modeling and Simulation of Non-idealities in a Z-axis CMOS-MEMS Gyroscope
  3. A piezoelectric MEMS microphone optimizer platform
  4. Multi-modal vibration based MEMS energy harvesters for ultra-low power wireless functional nodes
  5. Modeling of MEMS Mirrors Actuated by Phase-Change Mechanism
  6. Effect of Process Parameters on TED-Based Q-Factor of MEMS
  7. Design and simulation of a piezoelectric sensor with applications in image stabilization
  8. Finite Element Analysis of Micro - Electro - Mechanical Systems: Towards the integration of MEMS in ...
  9. Mechanics of MEMS: a review of modeling, analysis, and design
  10. Rapid Prototyping of Inertial MEMS Devices through Structural Optimization
  11. Model-based design of MEMS resonant pressure sensors
  12. Self-generating Microsensor with Meander Architecture for Performance Enhancement in Inertial System...
  13. Design of frequency-output resonant piezoelectric sensors
  14. Microscale effects of silicon-on-glass micromechanical devices: experimental results and 3D finite e...
  15. Electrical and mechanical field interactions of piezoelectric systems: foundation of smart-structure...
  16. Design of Piezoresistive MEMS Accelerometer with Optimized Device Dimension
  17. FINITE ELEMENT METHOD APPLIED TO THE ANALYSIS OF MEMS
  18. <title>Development of a MEMS-rate sensor with PZT actuation and sensing</title>
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 18小时前

    快乐大炮 快乐大炮 求助人 Lv1 驳回了 科目三 上传的文件

    说明
    下载后文件根本打不开

  • 1天前

    科目三 科目三 Lv11 上传了文件

    已驳回 qt5kd3w2mc.pdf (22.41 MB)

  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:28:56 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:28:55 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    15:28:55 已向机器人发送请求

  • 1天前

    快乐大炮 快乐大炮 求助人 Lv1 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
zjj发布了新的文献求助10
3秒前
江小白完成签到，获得积分0
7秒前
祥瑞完成签到，获得积分10
8秒前
sutharsons的应助被科研通管家采纳，获得10
16秒前
16秒前
yinlao完成签到，获得积分10
17秒前
七绝完成签到，获得积分10
17秒前
小蒋完成签到 ，获得积分10
18秒前
七绝发布了新的文献求助10
21秒前
22秒前
25秒前
wanci的应助被甘木鸣采纳，获得10
25秒前
andrele发布了新的文献求助10
27秒前
顺心的梨愁完成签到 ，获得积分10
27秒前
慕青的应助被红姐采纳，获得10
28秒前
34秒前
彭于晏的应助被宝儿姐采纳，获得10
36秒前
37秒前
坦率的丹烟完成签到 ，获得积分10
41秒前
cc只会嘻嘻完成签到 ，获得积分10
41秒前
45秒前
嗯哼的应助被神勇麦片采纳，获得10
47秒前
48秒前
liuyx完成签到 ，获得积分10
49秒前
VVV发布了新的文献求助10
49秒前
51秒前
宝儿姐发布了新的文献求助10
52秒前
54秒前
57秒前
JDM发布了新的文献求助10
57秒前
侯小菊发布了新的文献求助10
58秒前
1分钟前
大学生完成签到 ，获得积分10
1分钟前
bean完成签到 ，获得积分10
1分钟前
sushi发布了新的文献求助10
1分钟前
小土豆完成签到 ，获得积分10
1分钟前
小林同学0219完成签到 ，获得积分10
1分钟前
ding的应助被999采纳，获得10
1分钟前
1分钟前
芝士球球的应助被侯小菊采纳，获得10
1分钟前
高分求助中
Evolution 3rd edition 1500
Lire en communiste 1000
Mantiden: Faszinierende Lauerjäger Faszinierende Lauerjäger 700
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 700
A new species of Coccus (Homoptera: Coccoidea) from Malawi 500
2-Acetyl-1-pyrroline: an important aroma component of cooked rice 500
Ribozymes and aptamers in the RNA world, and in synthetic biology 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3179811
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2830312
关于积分的说明 7976250
捐赠科研通 2491769
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1328925
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 635580
版权声明 602927
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通