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 Kinetic Monte Carlo study on the effect of growth conditions on the epitaxial growth of 3C–SiC (0001) vicinal surface 生长条件对3C-SiC（0001）邻面外延生长影响的Monte Carlo动力学研究
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Xuejiang Chen; Xinyao Zhang; Wensen Ai 出版日期：2024-01-30 |
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