Can optical proximity correction solution be learned? The learning limit and a general learning framework

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标题	Can optical proximity correction solution be learned? The learning limit and a general learning framework 光学接近校正解决方案可以学习吗？学习极限与一般学习框架相关领域光学接近校正计算机科学极限（数学）深度学习人工智能平版印刷术机器学习卷积神经网络过程（计算）物理光电子学数学数学分析操作系统
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.21.4.043203
DOI	10.1117/1.jmm.21.4.043203 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology 作者：Xuelong Shi; Yan Yan; Chen Li; Mingyang Xia; Bingyang Pan; et al 出版日期：2022-11-29
求助人	勤劳怜寒在 2024-11-28 11:04:48 发布自四川，悬赏 20 积分
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