标题 |
Review of GaN Thin Film and Nanorod Growth Using Magnetron Sputter Epitaxy
磁控溅射外延生长GaN薄膜及纳米棒研究进展
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
光电子学
溅射沉积
金属有机气相外延
纳米棒
外延
溅射
薄膜
兴奋剂
分子束外延
纳米技术
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DOI | |
其它 |
期刊:Applied sciences 作者:Aditya Prabaswara; Jens Birch; Muhammad Junaid; Elena Alexandra Serban; Lars Hultman; et al 出版日期:2020-04-27 |
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