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 A study of the magneto-controlled mechanical properties and polishing performance for single-crystal SiC used as a magnetorheological-elastomer polishing pad 单晶SiC磁流变弹性体抛光垫磁控力学性能及抛光性能研究
相关领域
磁流变液
材料科学
抛光
复合材料
磁流变弹性体
表面粗糙度
质量分数
化学机械平面化
弹性体
固化（化学）
磁场
量子力学
物理
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| 其它 |
期刊：Smart Materials and Structures 作者：Da Hu; Jiayun Deng; Jiabin Lu; Qingzhi Yan; Canlin Du; et al 出版日期：2022-02-07 |
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