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标题
Thermal analysis of extreme ultraviolet pellicle with metallic coatings
金属涂层极紫外薄膜的热分析
相关领域
极紫外光刻 材料科学 涂层 极端紫外线 发射率 堆栈（抽象数据类型） 热的 图层（电子） 光学 平版印刷术 紫外线 吸收（声学） 复合材料 光电子学 物理 气象学 计算机科学 程序设计语言 激光器
网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2017.02.017
DOI
10.1016/j.mee.2017.02.017 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Eun‐Sang Park; Min-Ha Kim; Sollee Hwang; Hye-Keun Oh
出版日期：2017-02-14
求助人
hyelachan 在 2025-02-18 17:30:31 发布自重庆，悬赏 10 积分
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