标题 |
Optical and structural properties of low-temperature PECVD ETMS SiOx thin films
低温PECVD ETMS SiOx薄膜的光学和结构性能
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
薄膜
材料科学
复合材料
纳米技术
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Thin Solid Films 作者:Yizhou Song; Takeshi Sakurai; Koichi Kishimoto; Kazuhiko Maruta; Shigeharu Matsumoto; et al 出版日期:1998-12-01 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|