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 ECS Transactions The Electrochemical Society (ECS), find out more. Low-<em>k</em> SiBN (Silicon Boron Nitride) Film Synthesized by a Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition ECS交易电化学学会（ECS），了解更多。等离子体辅助原子层沉积合成低K SiBN薄膜
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