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 A piezoelectric AlN MEMS hydrophone with high sensitivity and low noise density 一种高灵敏度低噪声密度压电AlN MEMS水听器
相关领域
水听器
声学
材料科学
灵敏度（控制系统）
噪音（视频）
压电
微电子机械系统
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电子工程
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电信
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人工智能
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Dengfei Yang; Lei Yang; Xuying Chen; Mengjiao Qu; Ke Zhu; et al 出版日期：2021-02-01 |
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