Review on Microscale Sensors with 3D Engineered Structures: Fabrication and Applications

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标题	Review on Microscale Sensors with 3D Engineered Structures: Fabrication and Applications 三维工程结构微尺度传感器的制备与应用研究进展相关领域微尺度化学制作薄脆饼纳米技术材料科学平面的计算机科学各向同性腐蚀晶圆制造蚀刻（微加工）医学替代医学数学数学教育计算机图形学（图像）病理图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1002/smtd.202101384
DOI	10.1002/smtd.202101384 doi
其它	期刊：Small methods 作者：Cheng Zhang; Menglong Qu; FU Xiuqing; Jian Lin 出版日期：2022-01-27
求助人	Tom 在 2024-09-24 11:37:14 发布自安徽，悬赏 10 积分
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