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Improved crystallinity and surface morphology of a-plane AlN grown on high temperature annealed AlN/sapphire template by pulsed-flow mode metal-organic vapor phase epitaxy
高温退火AlN/蓝宝石模板上脉冲流动金属有机气相外延A面AlN结晶度和表面形貌的改善
相关领域
材料科学
金属有机气相外延
半最大全宽
结晶度
蓝宝石
外延
分析化学(期刊)
紫外线
氮化物
图层(电子)
光电子学
光学
化学
复合材料
激光器
物理
色谱法
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其它 |
期刊:Semiconductor Science and Technology 作者:Tingsong Cai; Yanan Guo; Zhibin Liu; Ruijie Zhang; Dadi Wang; et al 出版日期:2023-05-05 |
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