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标题
Improved crystallinity and surface morphology of a-plane AlN grown on high temperature annealed AlN/sapphire template by pulsed-flow mode metal-organic vapor phase epitaxy
高温退火AlN/蓝宝石模板上脉冲流动金属有机气相外延A面AlN结晶度和表面形貌的改善
相关领域
材料科学 金属有机气相外延 半最大全宽 结晶度 蓝宝石 外延 分析化学(期刊) 紫外线 氮化物 图层(电子) 光电子学 光学 化学 复合材料 激光器 物理 色谱法
网址
DOI
10.1088/1361-6641/acd021 doi
其它 期刊:Semiconductor Science and Technology
作者:Tingsong Cai; Yanan Guo; Zhibin Liu; Ruijie Zhang; Dadi Wang; et al
出版日期:2023-05-05
求助人
西河 在 2024-05-21 16:34:13 发布自北京,悬赏 10 积分
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