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 Beyond 20nm DRAM Capacitor Etch Challenge and Process Solution 超越20nm DRAM电容蚀刻挑战与制程解决方案
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期刊： 作者：Jianqiu Hau; Jun Xia; Ya Zhou; Kangshu Zhan; Zengwen Hu 出版日期：2022-06-20 |
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