| 标题 |
 Robust design of broadband EUV multilayer using multi-objective evolutionary algorithm 基于多目标进化算法的宽带EUV多层鲁棒设计
相关领域
极紫外光刻
宽带
非周期图
进化算法
计算机科学
极端紫外线
算法
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材料科学
光电子学
电信
物理
数学
人工智能
程序设计语言
组合数学
激光器
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| 网址 | |
| DOI |
10.1016/j.optcom.2017.11.045
doi
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| 其它 |
期刊：Optics Communications 作者：Shang-qi Kuang; Xuepeng Gong; Hsiharng Yang 出版日期：2018-03-01 |
| 求助人 | |
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