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标题
Fraction of Interstitialcy Component of Phosphorus and Antimony Diffusion in Silicon
硅中磷和锑扩散的间隙组分分数
相关领域
扩散 掺杂剂 氮化硅 材料科学 氮化物 基质(水族馆) 分析化学(期刊) 化学 兴奋剂 冶金 纳米技术 光电子学 热力学 环境化学 图层(电子) 海洋学 物理 地质学
网址
DOI
10.1143/jjap.37.1184 doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Takashi Shimizu; Toshio Takagi; Satoru Matsumoto; Yoshiyuki Satō; Eisuke Arai; et al
出版日期:1998-03-01
求助人
cali_123 在 2024-02-01 16:11:15 发布自江苏,悬赏 10 积分
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