Etching Properties of Hydrogenated Amorphous Silicon

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标题	Etching Properties of Hydrogenated Amorphous Silicon 氢化非晶硅的刻蚀性能相关领域材料科学蚀刻（微加工）异丙醇干法蚀刻反应离子刻蚀无定形固体各向同性腐蚀化学工程非晶硅硅等离子体刻蚀氢纳米技术光电子学晶体硅结晶学有机化学图层（电子）化学工程类
网址	https://doi.org/10.1557/proc-219-805
DOI	10.1557/proc-219-805 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：Y. S. Tsuo; Yuting Xu; David W. Baker; S. K. Deb 出版日期：1991-01-01
求助人	君君在 2024-01-31 20:42:18 发布自陕西，悬赏 10 积分
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