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 Spectral interference ellipsometry for film thickness measurement on transparent substrate 光谱干涉椭偏法测量透明衬底薄膜厚度
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期刊：Optics and Lasers in Engineering 作者：Jinxu Zhang; Liheng Shi; R. Zhang; Jiayang Chen; Guanhao Wu 出版日期：2023-12-01 |
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