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 Hydrogen Role on the Properties of Silicon Nitride for Flexible Thin Film Encapsulation 氢对柔性薄膜封装用氮化硅性能的影响
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期刊：Physica Status Solidi A-applications and Materials Science 作者：Majiaqi Wu; Xiaoni Yang; Chi Zhang; Maoliang Jian; Lianqiao Yang 出版日期：2024-04-08 |
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