High speed surface acoustic wave and laterally excited bulk wave resonator based on single-crystal non-polar AlN film

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标题	High speed surface acoustic wave and laterally excited bulk wave resonator based on single-crystal non-polar AlN film 基于单晶非极性AlN薄膜的高速声表面波和横向激励体波谐振器相关领域谐振器材料科学声表面波压电叉指换能器瑞利波光电子学声波蓝宝石氮化物表面波声学光学图层（电子）纳米技术复合材料物理激光器
网址	https://doi.org/10.1063/5.0181087
DOI	10.1063/5.0181087 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：T.-M. Lu; Xiaoli Fang; Shibin Zhang; Ye Yuan; Yanda Ji; et al 出版日期：2023-12-18
求助人	阿亮在 2024-10-03 11:05:11 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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