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标题
Proton Dynamics in Chemically Amplified Electron Beam Resists
化学放大电子束抗蚀剂中的质子动力学
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质子 电离 加合物 聚合物 吸收（声学） 电子 分子 产量（工程） 化学 梁（结构） 分析化学（期刊） 材料科学 光化学 离子 有机化学 光学 核物理学 物理 复合材料 冶金
网址
https://doi.org/10.1143/jjap.43.l848
DOI
10.1143/jjap.43.l848 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Hiroki Yamamoto; Takahiro Kozawa; Atsuro Nakano; Kazumasa Okamoto; Yukio Yamamoto; et al
出版日期：2004-06-11
求助人
虚心盼夏 在 2025-02-06 18:51:42 发布自上海，悬赏 10 积分
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