Super-stealth dicing of transparent solids with nanometric precision

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标题	Super-stealth dicing of transparent solids with nanometric precision 透明固体纳米级超隐身切割相关领域晶片切割材料科学薄脆饼纳米技术
网址	https://www.nature.com/articles/s41566-024-01437-8.pdf
DOI	10.1038/s41566-024-01437-8 doi 提醒：求助人提供的doi与AI识别不一致 10.48550/arxiv.2308.02352 Doi
其它	期刊：Nature Photonics 作者：Zhen-Ze Li; Hua Fan; Lei Wang; Xu Zhang; Xin-Jing Zhao; et al 出版日期：2024-05-08
求助人	zzz 在 2024-11-06 09:08:06 发布自江苏，悬赏 10 积分
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