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Study on Picosecond Pulsed Laser Grooving Technology for Low-k Silicon Wafer
低k硅片皮秒脉冲激光开槽技术研究
相关领域
材料科学 薄脆饼 硅 光电子学 皮秒 激光器 脉冲激光器 混合硅激光器 光学 物理
网址
https://doi.org/10.1109/icept59018.2023.10491973
DOI
10.1109/icept59018.2023.10491973 doi
其它 期刊：
作者：C. Wang; Jingyang Su; Siyuan Lu; Wenhui Zhu; Liancheng Wang
出版日期：2023-08-08
求助人
Lee 在 2024-12-26 22:05:25 发布自浙江，悬赏 10 积分
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