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标题
Effect of Potassium Ferrocyanide on CMP Performance of Ruthenium in H2O2-based Slurries
亚铁氰化钾对钌在H2O2基浆料中CMP性能的影响
相关领域
泥浆 材料科学 亚铁氰化钾 钌 钾 亚铁氰化物 无机化学 核化学 化学工程 冶金 物理化学 复合材料 有机化学 化学 电极 工程类 催化作用
网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1149/2162-8777/ad4fbe
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.1149/2162-8777/ad4fbe doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Renhao Liu; Yi Xu; Yuling Liu; Baimei Tan; Jinbo Ji; et al
出版日期：2024-05-24
求助人
YvonneChem 在 2024-12-25 22:13:47 发布自广东，悬赏 10 积分
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