Study of resist hardmask interaction through surface activation layers

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标题	Study of resist hardmask interaction through surface activation layers 表面活化层对抗蚀剂与硬掩模相互作用的研究相关领域抵抗材料科学计算机科学纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2501824
DOI	10.1117/12.2501824 doi
其它	期刊：作者：Jennifer Church; Anuja De Silva; Luciana Meli; Jing Guo; Nelson Felix; et al 出版日期：2018-10-03
求助人	许乐在 2024-12-04 11:43:03 发布自上海，悬赏 20 积分
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