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标题
Design and performance of a double hot arm polysilicon thermal actuator
双热臂多晶硅热致动器的设计与性能
相关领域
执行机构 材料科学 机械臂 微电子机械系统 热的 偏转（物理） 旋转致动器 机械工程 电气工程 工程类 光电子学 光学 物理 气象学
网址
https://doi.org/10.1117/12.284528
DOI
10.1117/12.284528 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：D. Burns; Victor M. Bright
出版日期：1997-09-05
求助人
太阳想吃冰淇淋 在 2025-02-22 09:21:41 发布自吉林，悬赏 20 积分
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