Effect of plasma operation pressure on burn-in efficiency of an SIP–PVD chamber

求助中

文献求助详情

标题	Effect of plasma operation pressure on burn-in efficiency of an SIP–PVD chamber 等离子体工作压力对SIP-PVD室老化效率的影响相关领域等离子体锡磨合燃烧室压力材料科学薄脆饼产量（工程）大气压等离子体沉积（地质）等离子体处理核工程光电子学复合材料冶金电气工程工程类物理核物理学沉积物古生物学生物
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2007.04.143
DOI	10.1016/j.mee.2007.04.143 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Yi-Chi Lin; Ming-Yen Li; Hsiao-Che Wu; Poyo Chuang; Cheng-Sung Huang 出版日期：2007-05-04
求助人	zhu 在 2025-02-23 20:33:34 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
4小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

20:33:35 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

20:33:34 科研通AI机器人（美国洛杉矶）收到请求，开始寻找文献

20:33:34 已向机器人发送请求
4小时前

zhu 求助人 Lv1 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 辛夷发布了新的文献求助10

1秒前; 111完成签到，获得积分20

3秒前; 田様上传了应助文件

6秒前; 落寞臻完成签到，获得积分10

8秒前; 科目三的应助被xujiamei采纳，获得10

9秒前; 你的背包完成签到，获得积分10

9秒前; bopbopbaby完成签到，获得积分10

9秒前; 领导范儿的应助被汪汪别吃了采纳，获得10

10秒前; orixero的应助被xioabu采纳，获得10

10秒前; 辰星发布了新的文献求助10

11秒前; 你的背包发布了新的文献求助10

12秒前; 橙橙完成签到，获得积分10

12秒前; 打打的应助被Zhou采纳，获得10

20秒前; 张亚博完成签到，获得积分10

21秒前; 俊逸的若剑完成签到，获得积分10

25秒前; fox完成签到，获得积分10

28秒前; 华仔的应助被小陈加油呀采纳，获得10

33秒前; Liao完成签到，获得积分10

33秒前; 星辰大海的应助被科研通管家采纳，获得10

37秒前; 可爱的函函的应助被科研通管家采纳，获得10

37秒前; CodeCraft的应助被科研通管家采纳，获得10

37秒前; 瘦瘦的寒珊完成签到，获得积分10

39秒前; 舒心豪英完成签到，获得积分10

39秒前; 自信的初之完成签到，获得积分10

40秒前; 迷路的问儿上传了应助文件

44秒前; 和谐续完成签到，获得积分10

44秒前; zency完成签到，获得积分10

46秒前; 朱佳宁完成签到，获得积分10

47秒前; 保持理智完成签到，获得积分10

49秒前; Julie发布了新的文献求助10

52秒前; 归尘上传了应助文件

54秒前; 上官若男上传了应助文件

55秒前; heihei完成签到，获得积分10

55秒前; 华仔上传了应助文件

56秒前; 香蕉觅云的应助被优秀的寻芹采纳，获得10

1分钟前; 情怀的应助被按揭采纳，获得10

1分钟前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

1分钟前; ASD123发布了新的文献求助10

1分钟前; 小陈加油呀发布了新的文献求助10

1分钟前; MOFAS发布了新的文献求助10

1分钟前